▒▒ UVSMT 방문을 환영 합니다. ▒▒
gg
 
  Home > 고객지원 > 뉴스
 
 


 



분류 일반 | 알면좋은상식 |
VIEW ARTICLE
SK하이닉스, 국내 중소기업과 손잡고 300㎜ 웨이퍼용 폴리 건식식각기 국산화
 SMT  | 2013·03·12 18:48 | HIT : 1,581 | VOTE : 64 |
SK하이닉스가 중소 반도체장비업체 APTC와 손잡고 300㎜ 웨이퍼용 폴리 건식식각기(드라이 에처) 국산화에 성공했다. 폴리 건식식각기는 노광기와 함께 반도체 미세공정을 진전시킬 핵심 장비로 꼽힌다. 램리서치·어플라이즈머티리얼스·도쿄일렉트론 세 회사가 세계 시장을 장악했다. 우리나라 반도체장비 기술 경쟁력을 한 차원 끌어올린 개가로 평가된다.

11일 업계에 따르면 SK하이닉스는 APTC와 공동 개발한 폴리 건식식각기 두 대를 최근 청주 공장에 설치했다.

이 장비는 32㎚ 공정에서 0.6㎚ 편차 수준으로 해외 경쟁사 제품보다 성능이 뛰어나다는 평가를 받았다. 가격 경쟁력은 외산 장비보다 10~15% 높다. SK하이닉스는 곧 20㎚대 공정 테스트도 진행할 계획이다.

우리나라 장비업체들은 200㎜ 웨이퍼용 건식식각기를 일부 국산화했지만, 300㎜ 시장 진입에 번번이 실패했다. 플라즈마 소스를 해외에 의존하며, 체임버 설계 능력도 뒤처지는 기술 한계 탓이다. APTC는 유도자기장(ICP)과 전기장(CCP)의 장점만 취합해 독자 기술로 듀얼 ACP(Adaptive Coupled Plasma)라는 새 플라즈마 소스를 개발했다. 이 회사는 2년 전 SK하이닉스에 장비 적용을 제안했으며, 두 회사가 2년 동안 필드테스트를 진행했다.

양산 검증에 성공하면서 SK하이닉스는 우선 APTC가 공급한 장비 두 대를 청주 메모리반도체 라인에 적용하고, 신규 라인에도 채택할 계획이다.

SK하이닉스가 국산화한 폴리 장비는 가장 고난도 분야다. D램·낸드플래시 등 메모리반도체뿐 아니라 애플리케이션프로세서(AP) 등 로직 반도체 생산에도 쓰인다.

SK하이닉스는 지난 2004년 300㎜팹인 M10을 처음 가동한 이래 50여개의 장비·재료를 국산화했다. 전 공정 투자 중 국산 장비 비율이 15%를 넘어섰다. 재료 국산화도 지난 2011년 50%를 넘는 결실을 거뒀다. 업계 관계자는 “APTC의 기술력과 SK하이닉스의 국산화 의지가 합쳐져 시너지 효과가 났다”며 “어디까지 장비 국산화를 진척시킬 수 있을지가 관심”이라고 말했다.

이형수기자 goldlion2@etnews.com


건식식각기

게이트·트렌치 등 반도체 회로 패턴 형성에 쓰는 장비다. 반도체 표면 위 불필요한 부분을 플라즈마로 제거하는 원리다. 건식식각기는 재료에 따라 폴리·옥사이드·메탈 세 종류로 나뉜다. 폴리·옥사이드 시장은 반도체 미세회로 기술 진전으로 급성장하는 반면에 메탈 시장은 반도체층 감소로 매년 위축된다. 세계 시장은 지난해 기준 5조원 규모다. 우리나라는 세계 건식식각기 시장에서 15~18% 비중을 차지한다.

     
NO CATEGORY          SUBJECT NAME DATE HIT
361 일반   <美 SID 2016>에서 신기술 대전  SMT 16·05·25 1452
360 일반   망치질 없이 뚝딱! 디지털 대장간!  SMT 16·06·13 1532
359 일반   중국은 첸 끌어오고 한국은 김종훈 쫓아내고  SMT 13·02·22 1571
358 일반   차이나 디스플레이 파워 커진다…BOE 이어 CSOT까지 초고속 성장  SMT 13·03·05 1575
일반   SK하이닉스, 국내 중소기업과 손잡고 300㎜ 웨이퍼용 폴리 건식식각기 국산화  SMT 13·03·12 1581
356 일반   나로호 3차 발사 성공! 꿈을 향해 날다  SMT 13·01·30 1584
355 일반   4천만원짜리 초고가 TV, 없어서 못산다?  SMT 13·02·26 1590
354 일반   주성엔지니어링 사장(황철주) 초대 중소기업청장  SMT 13·03·22 1590
353 일반   버린 기업이 수천억 흑자!  SMT 13·02·07 1591
352 일반   ESS용 리튬전지 시장 전기차용 시장 추월  SMT 13·03·25 1591
351 일반   광기술원의 국내 첫 LED조명 필드테스트  SMT 13·04·15 1591
350 일반   80후 세대의 자진 실업, 중국 진출기업의 고민  SMT 13·04·16 1591
1234567891031
Copyright 1999-2022 Zeroboard / skin by GGAMBO